경사진 표면에서의 박막 성장시 증착과정이 성장의 안정성에 미치는 효과

Abstract

Cu(1,1,17) 표면 위의 박막 성장에 steering 효과가 미치는 영향을 kinetic Monte Carlo(KMC) 시뮬레이션에 moelcular dynamic(MD) 시뮬레이션을 결합한 계산으로 고찰하였다. steering에 의해 계단(step) 근방의 증착밀도가 불균질화되고 증착각도 의존성을 보임을 확인하였다. 그 결과 증착원자의 입사각에 따라 성장 불안정성에 차이가 나타났다. 그러나 steering 효과는 steering 효과를 고려하지 않은 경우에 비해 언제나 성장 불안정성을 증가시켰다. 이는 Erlich-Schwoebel 포텐셜 장벽에 의해 테라스 방향으로 확산편향이 작용하여, steering 효과에 의해 하강계단(descending step) 근방에 밀집된 증착 원자들이 상승계단(ascending step) 모서리의 돌출 부분에 더 많은 흡착이 일어나기 때문으로 사료된다.