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경사진 표면에서의 박막 성장시 증착과정이 성장의 안정성에 미치는 효과
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 서지근 | - |
| dc.contributor.author | 김재성 | - |
| dc.date.available | 2021-02-22T11:25:40Z | - |
| dc.date.issued | 2004-08 | - |
| dc.identifier.issn | 0374-4914 | - |
| dc.identifier.issn | 2289-0041 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.sookmyung.ac.kr/handle/2020.sw.sookmyung/9591 | - |
| dc.description.abstract | Cu(1,1,17) 표면 위의 박막 성장에 steering 효과가 미치는 영향을 kinetic Monte Carlo(KMC) 시뮬레이션에 moelcular dynamic(MD) 시뮬레이션을 결합한 계산으로 고찰하였다. steering에 의해 계단(step) 근방의 증착밀도가 불균질화되고 증착각도 의존성을 보임을 확인하였다. 그 결과 증착원자의 입사각에 따라 성장 불안정성에 차이가 나타났다. 그러나 steering 효과는 steering 효과를 고려하지 않은 경우에 비해 언제나 성장 불안정성을 증가시켰다. 이는 Erlich-Schwoebel 포텐셜 장벽에 의해 테라스 방향으로 확산편향이 작용하여, steering 효과에 의해 하강계단(descending step) 근방에 밀집된 증착 원자들이 상승계단(ascending step) 모서리의 돌출 부분에 더 많은 흡착이 일어나기 때문으로 사료된다. | - |
| dc.format.extent | 6 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | KOR | - |
| dc.publisher | 한국물리학회 | - |
| dc.title | 경사진 표면에서의 박막 성장시 증착과정이 성장의 안정성에 미치는 효과 | - |
| dc.title.alternative | Steering E ects on Growth Instability During Step-Flow Growth of Cu on Cu(1,1,17) | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 새물리, v.49, no.2, pp 169 - 174 | - |
| dc.citation.title | 새물리 | - |
| dc.citation.volume | 49 | - |
| dc.citation.number | 2 | - |
| dc.citation.startPage | 169 | - |
| dc.citation.endPage | 174 | - |
| dc.identifier.kciid | ART000935318 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Vicinal surface | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Steering effect. Thin film growth | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Vicinal surface | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Steering effect. Thin film growth | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 경사진 표면 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Steering effect | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 박막 성장 | - |
| dc.identifier.url | https://www.kci.go.kr/kciportal/ci/sereArticleSearch/ciSereArtiView.kci?sereArticleSearchBean.artiId=ART000935318 | - |
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- Kim, Jae Sung
- 첨단소재·전자융합공학부 (신소재물리전공)