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초록
NiO 극초박막을 Ag(001) 단결정 위에 성장하는 과정에서 발생하는 화학 결함들을 X선 광전자 분광법을 이용하여 연구하였다. 특히 박막 두께, 산소 분압, 물 분압, 기판 온도 등을 잘 제어한 성장 환경에서 얻어진 O 1s, Ni 2p 스펙트라의 분석을 통하여 NiO 극초박막 성장 시 형성되는 화학 결함들의 정체를 일관성 있게 밝혀내었다. 이를 통하여 결함 밀도를 최소화 할 수 있는 최적의 성장 조건을 제안할 수 있게 되었다.
키워드
NiO ultrathin film; NiO/Ag(001); X-ray Photoelectron Spectroscopy; defect; NiO 극초박막; NiO/Ag(001); X선 광전자 분광법; 결함 구조
- 제목
- Ag(001)에 성장된 NiO 극초박막의 화학 결함 연구
- 제목 (타언어)
- XPS study of NiO Growth on Ag(100)
- 저자
- 양설운; 성시진; 김재성; 황한나; 황찬국; 장영준; 박수현; 민항기
- 발행일
- 2007-09
- 저널명
- 한국진공학회지
- 권
- 16
- 호
- 5
- 페이지
- 311 ~ 321