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초록
Cu(1,1,17) 표면 위의 박막 성장에 steering 효과가 미치는 영향을 kinetic Monte Carlo(KMC) 시뮬레이션에 moelcular dynamic(MD) 시뮬레이션을 결합한 계산으로 고찰하였다. steering에 의해 계단(step) 근방의 증착밀도가 불균질화되고 증착각도 의존성을 보임을 확인하였다. 그 결과 증착원자의 입사각에 따라 성장 불안정성에 차이가 나타났다. 그러나 steering 효과는 steering 효과를 고려하지 않은 경우에 비해 언제나 성장 불안정성을 증가시켰다. 이는 Erlich-Schwoebel 포텐셜 장벽에 의해 테라스 방향으로 확산편향이 작용하여, steering 효과에 의해 하강계단(descending step) 근방에 밀집된 증착 원자들이 상승계단(ascending step) 모서리의 돌출 부분에 더 많은 흡착이 일어나기 때문으로 사료된다.
키워드
Vicinal surface; Steering effect. Thin film growth; Vicinal surface; Steering effect. Thin film growth; 경사진 표면; Steering effect; 박막 성장
- 제목
- 경사진 표면에서의 박막 성장시 증착과정이 성장의 안정성에 미치는 효과
- 제목 (타언어)
- Steering E ects on Growth Instability During Step-Flow Growth of Cu on Cu(1,1,17)
- 저자
- 서지근; 김재성
- 발행일
- 2004-08
- 저널명
- 새물리
- 권
- 49
- 호
- 2
- 페이지
- 169 ~ 174