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초록
컴퓨터를 이용한 자동화는 반복적인 실험의 제어에 편리하고, 높은 정밀도를 요구하는 계측 및 제어를 수행할 수 있다는 장점들로 인해 그 적용 범위가 점점 확대되고 있다. sputtering과 annealing은 깨끗한 고체 표면을 얻기 위해 일상적으로 수행되는 작업으로서 컴퓨터를 이용한 자동제어가 유용하게 응용될 수 있는 과정이다. 본 연구에서는 sputtering과 annealing 전 과정을 자동화하고 web 상에서 제어가 가능하도록 하여 무인 실험실 구축의 가능성을 확인하였다.
키워드
sputtering; annealing; automation; unmanned laboratory; network; 자동화; 무인 실험실; sputtering; annealing; automation; unmanned laboratory; network
- 제목
- 네트워크 상에서의 물리실험
- 제목 (타언어)
- Laboratory on network
- 저자
- 남유리; 김재성
- 발행일
- 2004-12
- 저널명
- 한국진공학회지
- 권
- 13
- 호
- 4
- 페이지
- 164 ~ 174