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초록
자성박막의 미세패턴 소자 제작을 위해 전자 사이크로트론 공명(electron cyclotron resonance; ECR) Ar 이온밀링 시스템을 제작하였다. 소자 식각에 적용한 ECR 이온밀링 시스템에서 주파수 2.45 GHz 파장 12.24 cm의 마이크로파 소스인 마그네트론은 전력 600W에 의해 가동되어 파장의 정수배에 맞추어 만든 도파관을 통하여 전달되도록 설계하였다. 마이크로파 주파수와 공명시키기 위해 전자석으로 908 G의 자기장을 인가하였고, 알곤 개스를 cavity에 유입시켜서 방전된 이온들은 그리드 사이에 인가한약 1000 V의 가속전압에 의한 에너지를 갖고 표면을 밀링한다. 이것을 이용하여 다층구조 GMR-SV(giant magnetoresistance-spin valve) 자성박막에 광 리소그래피, 이온밀링 및 전극제작 공정과정을 마치고 폭이 1 μm에서 9 μm까지의 소자들을 제작하여 광학현미경으로 소자 크기를 관찰하였다.
키워드
electron cyclotron resonance (ECR); Ion milling; magnetic thin film; microwave; lithography process; 전자 사이클로트론 공명(ECR); 이온밀링; 자성박막; 마이크로파; 리소그래피 공정
- 제목
- 자성박막 소자 에칭용 전자 사이클로트론 공명 이온밀링 시스템 제작과 특성연구
- 제목 (타언어)
- Fabrication and Performance of Electron Cyclotron Resonance Ion Milling System for Etching of Magnetic Film Device
- 저자
- 이원형; 황도근; 이상석; 이장로
- 발행일
- 2015-10
- 저널명
- 한국자기학회지
- 권
- 25
- 호
- 5
- 페이지
- 149 ~ 155