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버퍼층 Ta에 의존하는 코네틱 박막의 연자성 자기저항 특성Soft Magnetoresistive Properties of Conetic Thin Film Depending on Ta Buffer Layer

Other Titles
Soft Magnetoresistive Properties of Conetic Thin Film Depending on Ta Buffer Layer
Authors
최종구황도근최진협이기암이장로이상석
Issue Date
Dec-2009
Publisher
한국자기학회
Keywords
buffer layer; Conetic(NiFeCuMo) thin film; coercivity; soft magnetism; post annealing treatment; 버퍼층; 코네틱(NiFeCuMo) 박막; 보자력; 연자성; 후열처리
Citation
한국자기학회지, v.19, no.6, pp 197 - 202
Pages
6
Journal Title
한국자기학회지
Volume
19
Number
6
Start Page
197
End Page
202
URI
https://scholarworks.sookmyung.ac.kr/handle/2020.sw.sookmyung/52547
DOI
10.4283/JKMS.2009.19.6.197
ISSN
1598-5385
2233-6648
Abstract
코닝유리(Corning glass) 기판 위에 이온빔 증착법으로 제작한 버퍼(Ta)/코네틱(Conetic; NiFeCuMo) 박막에 대해 버퍼층에 의존하는 결정성장과 열처리 효과를 조사하였다. 또한 코네틱층을 증착할 때에 인가한 자기장 방향으로 용이축과 곤란축의 자기저항 곡선으로부터 얻은 보자력과 포화자기장값을 버퍼층 유무에 따라 서로 비교하였다. Ta 박막의 두께가 5 nm이고 코네틱 박막의 두께가 50 nm일 때에 보자력은 0.12 Oe으로 작았으며, MH 히스테리시스 곡선에서 얻은 자화율(χ)은 1.2 × 104으로 우수한 연자성의 특성을 가졌다. 저자기장에 민감한 거대자기저항 스핀밸브(GMR-SV; giant magneoresistance-spin valve)나 자기터널링접합(MTJ; megnetic tunnel junction) 박막구조에서 자유층으로 연자성의 특성이 우수한 코네틱 박막을 사용할 수 있는 가능성을 확인하였다.
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ICT융합공학부 > 응용물리전공 > 1. Journal Articles

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