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네트워크 상에서의 물리실험Laboratory on network
- Other Titles
- Laboratory on network
- Issue Date
- Dec-2004
- Publisher
- 한국진공학회
- Keywords
- sputtering; annealing; automation; unmanned laboratory; network; 자동화; 무인 실험실; sputtering; annealing; automation; unmanned laboratory; network
- Citation
- Applied Science and Convergence Technology, v.13, no.4, pp 164 - 174
- Pages
- 11
- Journal Title
- Applied Science and Convergence Technology
- Volume
- 13
- Number
- 4
- Start Page
- 164
- End Page
- 174
- ISSN
- 2288-6559
2288-6559
- Abstract
- 컴퓨터를 이용한 자동화는 반복적인 실험의 제어에 편리하고, 높은 정밀도를 요구하는 계측 및 제어를 수행할 수 있다는 장점들로 인해 그 적용 범위가 점점 확대되고 있다. sputtering과 annealing은 깨끗한 고체 표면을 얻기 위해 일상적으로 수행되는 작업으로서 컴퓨터를 이용한 자동제어가 유용하게 응용될 수 있는 과정이다. 본 연구에서는 sputtering과 annealing 전 과정을 자동화하고 web 상에서 제어가 가능하도록 하여 무인 실험실 구축의 가능성을 확인하였다.
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Collections - ICT융합공학부 > 응용물리전공 > 1. Journal Articles
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- 첨단소재·전자융합공학부 (신소재물리전공)